Sensori a Stato Solido LS

Finalità del corso

• Introduzione al corso e principi fisici (2007-2008)
• Introduzione al corso e principi fisici (2008-2009)

Sensori ottici:
• Sensori ottici-I (2007-2008)
• Sensori ottici-I (2008-2009)
• Sensori ottici-II (2007-2008)
• Articolo sulla fabbricazione di microlenti Kodak

Sensori meccanici:
• Lucidi delle lezioni:
  
  • Sensori Meccanici-I
  • Sensori Meccanici-II
  • Sensori Meccanici-III
  • Tecnologie MEMS
• Bibliografia:
  
  • Chen et al., "Integrated Silicon Microbeam PI-FET Accelerometer", IEEE T. on ED 29, 1982.
  • Clark et al., "Pressure Sensitivity in Anisotropically Etched Thin-Diaphragm Pressure Sensors", IEEE T. on ED 26, 1979.
  • Kanda, "A Graphical Representation of the Piezoresistance Coefficients in Silicon", IEEE T. on ED 29, 1982.
  • Samaun, "An IC Piezoresistive Pressure Sensor for Biomedical Instrumentation", ISSCC 1971.
  • Sensore di pressione NAIS (dati tecnici)
  • Sensore di pressione MPX2700 MOTOROLA (dati tecnici)
  • Roylance et al., "A Batch-Fabricated Silicon Accelerometer", IEEE T. on ED 26, 1974.
  • Sensors Magazine Online, "A 3-Axis Silicon Piezoresistive Accelerometer"
  • Petersen et al., "Micromechanical Accelerometer Integrated with MOS Detection Circuitry", IEEE T. on ED 29, 1982.
  
  
  Sensori termici:
• Sensori Termici
• Lahiji and Wise, "A monoli1thic thermopile detector fabricated using integrated-circuit technology", IEDM 1980.
• Barth and Angell, "Thin Linear Thermometer Arrays for Use in Localized Cancer Hyperthermia", IEEE T. on ED 29, 1982.

Sensori magnetici:
• Sensori Magnetici
• Magnetic Pattern Recognition Sensors (MURATA)
• Baltes and Popovic, "Integrated Semiconductor Magnetic Field Sensors", Proceedings of the IEEE, vol. 74, n.8, 1986.

Esercitazioni

• Presentazione del programma TCAD-Sentaurus SYNOPSYS

Esame

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